Inficon 969-801-G2S Espectrómetros de masas

969-801-G2S

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INFICON Transpector APX sigue siendo el analizador de gases residuales (RGA) líder del mercado para la supervisión de procesos de semiconductores y pantallas. INFICON sabe que los clientes de semiconductores y pantallas tienen necesidades únicas, y la última revisión del Transpector APX brinda más flexibilidad para cumplir con los requisitos de aplicaciones específicas y, al mismo tiempo, mantiene una velocidad y sensibilidad de medición líderes en el sector. El Transpector APX es el monitor de procesos RGA ideal para procesos de semiconductores como ALD, CVD, PVD y Etch.

Diseño de plataforma específico para la aplicación que prolonga la vida útil de su proceso de ALD o CVD para obtener la mejor protección de obleas y paneles y optimizar los procesos Preparado para
ALD con velocidades de medición de más de 550 puntos de datos por segundo
Se redujo el tamaño de la fábrica en un 30% y se instaló más fácilmente gracias a un sistema de bombeo de alto rendimiento HexBlock™
configurable con un revestimiento patentado por INFICON con hasta tres entradas de presión que pueden soportar productos químicos corrosivos

Caracteristicas

Fabricante Inficon
País
Número de pieza 969-801-G2S

Especificación técnica

Catálogos